环形子孔径拼接检测的中心偏移误差补偿

• 作者: 刘晓 康晓清 李兵 高芬
• 来源期刊: 光子学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光学测试 环形子孔径拼接 二维像素矩阵 非球面 中心偏移误差
• 年，卷（期）: 2016,（9）
• 所属期刊栏目: 仪器,测量,度量学
• 页码范围: 87-92
• 分类号: TH744
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/gzxb20164509.0912001

摘要

为了减小非球面环形子孔径拼接测量时的中心偏移误差,根据检测原理及几何关系,分析了中心偏移误差在面形测量中的作用机理,推导了中心偏移误差模型,并在此基础上提出了一种基于二维像素矩阵的中心偏移误差补偿方法.该方法可以有效地得到初始面形测量数据的中心偏移量,在拼接之前减小由中心偏移误差引起的波前偏差的剔除误差,同时减小各环形子孔径中心之间的偏差.利用Zygo干涉仪进行了非球面环形子孔径拼接的中心偏移误差补偿实验,与零位检测结果相比,峰谷值残差为一0.015λ,均方根残差为0.003λ,表明该补偿方法大大减小了面形测量误差,提高了环形子孔径拼接的测量精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李兵	西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室	84	1641	20.0	38.0
2	刘晓	西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室	4	11	2.0	3.0
3	高芬	西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室	6	28	4.0	5.0
4	康晓清	西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室	1	3	1.0	1.0