常温下硅微谐振加速度计零偏稳定性的提高

• 作者: 严斌 尹永刚 董景新
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 硅微加速度计 谐振梁 结构优化 温度补偿 零偏稳定性
• 年，卷（期）: 2016,（5）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 1050-1056
• 页数: 7页
• 分类号: TH824.4
• 字数: 2321字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20162405.1050

摘要

考虑环境温度会影响硅微谐振加速度计(MSRA)的测量精度,本文研究了谐振梁的频率漂移及抑制方法以便提高其在常温下的零偏稳定性.针对结构热膨胀导致的应力进行了建模仿真,并根据仿真结果优化设计了一种低热应力的双端固支梁的结构来降低热膨胀系数不匹配带来的频率漂移.实验测得新结构的单梁谐振频率的温度系数从典型结构的约30 Hz/℃降为-1.5 Hz/℃,与仿真结果-1.14 Hz/℃基本一致.为了进一步提高该加速度计的零偏稳定性,设计了一种高精度测温电路用来补偿温漂,该电路测温灵敏度为96.25 mV/℃,测量噪声约为0.000 2℃.实验结果表明,采用优化后的结构结合线性温度补偿的方法,可使该硅微谐振加速度计的lh零偏稳定性在常温下达到10 μg以下,比改进前实验室获得的52μg水平提升了80％,满足了高精度加速度测量的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董景新	清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室	89	741	14.0	20.0
2	尹永刚	清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室	3	9	1.0	3.0
3	严斌	清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室	4	29	3.0	4.0