半导体光刻技术及设备的发展趋势

• 作者: 温菊红
• 来源期刊: 移动信息
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体材料 光刻技术及设备 发展趋势
• 年，卷（期）: 2016,（6）
• 所属期刊栏目: 信息系统及应用
• 页码范围: 117-118
• 页数: 2页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 1648字
• 语种: 中文

摘要

半导体的概念对于普通人来讲稍显陌生,但是我们的生活却又离不开它.在信息化的背景下,人们生活中对电子产品也是越发依赖.半导体主要应用于通讯、高速计算机、智能化生活等领域.信息化时代的半导体技术大部分还是受海外企业的掌控,但我国的半导体市场也在高速前进.在此以半导体光刻技术及设备的发展趋势为主题进行讨论与分析,望能对半导体光刻技术及设备的未来发展提供一些借鉴和参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	温菊红		1	1	1.0	1.0