含Ti-Al阻挡层的硅基Na0.5Bi0.5TiO3电容器的结构与电学性能

• 作者: 代秀红 刘保亭 宋安英 宋建民 方晓燕 李振娜 罗来慧 魏丽静
• 来源期刊: 硅酸盐学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 钛酸铋钠薄膜 铁电电容器 剩余极化强度 漏电流
• 年，卷（期）: 2016,（10）
• 页码范围: 1477-1481
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 语种: 中文
• DOI: 10.14062/j.issn.0454-5648.2016.10.14

摘要

通过射频磁控溅射法和脉冲激光沉积法，以 Ti–Al 为阻挡层，在(001)Si 衬底上制备了 La0.5Sr0.5CoO3(LSCO)/ Na0.5Bi0.5TiO3(NBT)/LSCO (LSCO/NBT/LSCO)异质结铁电电容器。研究了Na0.5Bi0.5TiO3铁电薄膜的结构和物理性能。结果表明：Ti–Al阻挡层为非晶结构，NBT薄膜结晶质量良好。在1500 kV/cm驱动电场下，LSCO/NBT/LSCO电容器呈现饱和的电滞回线，具有较大的剩余极化强度(47.9μC/cm2)和较小的脉宽依赖性，而且抗疲劳特性和保持特性良好。此外，漏电机制研究表明：当外加电场小于400 kV/cm时，LSCO/NBT/LSCO电容器满足欧姆导电机制，在电场大于400 kV/cm时，满足空间电荷限流传导机制。