大口径反射镜组件面形检测系统及方法研究

• 作者: 刘长春 叶海仙 周海 曹庭分 熊召 袁晓东 陈海平
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 测量 大口径反射镜 面形测量 S-H波前传感器 子孔径拼接 混联拼接
• 年，卷（期）: 2016,（2）
• 所属期刊栏目: 仪器,测量与计量
• 页码范围: 84-90
• 页数: 7页
• 分类号: TH741
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/AOS201636.0212002

摘要

大口径反射镜组件检测存在的设备昂贵、环境要求苛刻等问题.基于S-H波前传感器的子孔径拼接检测技术,对其拼接算法进行改进,提出混联拼接算法,有效减小拼接导致的面形检测误差.该方法结合自准直波前检测系统和高精密二维扫描系统形成大口径反射镜反射面形拼接检测系统.对比实验表明,该系统测量误差为0.072λ,满足高功率固体激光器对大口径反射镜组件装校过程面形控制的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	袁晓东		114	624	13.0	17.0
2	周海		23	142	8.0	11.0
3	熊召		25	76	5.0	6.0
4	曹庭分		14	25	3.0	4.0
5	刘长春		14	44	5.0	6.0
6	陈海平		8	12	2.0	3.0
7	叶海仙		5	1	1.0	1.0