带边缘驱动的214单元单压电变形镜仿真与实验

• 作者: 毛宇昕 褚家如 陈俊杰 陈凯 马剑强
• 来源期刊: 光子学报
• 学科: 工学
• 关键词: 自适应光学 单压电变形镜 像差校正 压电堆栈执行器 波前探测
• 年，卷（期）: 2016,（8）
• 所属期刊栏目: 光学设计与制造
• 页码范围: 44-49
• 分类号: TN384|O438
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/gzxb20164508.0822004

摘要

为了提高用于天文自适应光学系统的单压电变形镜的校正能力,提出了一种直径为75 mm且包含214个单元的带边缘驱动的单压电变形镜,单压电变形镜的边缘由数个压电堆栈执行器支撑.首先,通过有限元方法对变形镜进行仿真建模,分析比较三点、六点能动支撑对变形镜性能的影响.之后制备了三点、六点边缘驱动的变形镜样机.最后,利用波前传感器测试了边缘执行器对低阶像差的校正能力.实验结果表明:在0～100 V电压下,三点能动支撑与六点能动支撑变形镜均可重构大于12μm的倾斜像差,对应的归一化残余误差小于0.06,六点致动对像散和三叶草像差也具有较好的校正能力,证明边缘执行器可提高单压电变形镜的校正能力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	褚家如	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	76	566	14.0	19.0
2	陈俊杰	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	13	194	8.0	13.0
3	马剑强	宁波大学机械工程与力学学院	20	62	5.0	7.0
4	陈凯	宁波大学机械工程与力学学院	6	10	2.0	3.0
5	毛宇昕	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	1	5	1.0	1.0