基于正则化主量分析的相移阴影叠栅解调技术

• 作者: 杜虎兵 艾永旭
• 来源期刊: 激光与光电子学进展
• 学科: 物理学
• 关键词: 衍射 光学三维测量 阴影叠栅轮廓术 主量分析法 相位
• 年，卷（期）: 2016,（10）
• 所属期刊栏目: 衍射与光栅
• 页码范围: 25-31
• 页数: 7页
• 分类号: O439
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/LOP53.100501

摘要

传统的相移阴影叠栅轮廓术在垂直于光栅面方向移动光栅实现相移,由于相移是非线性的,需要较多帧的条纹图进行相位解调.为了减少条纹图帧数,节约测量时间,并简化测量过程,提出一种基于主量分析法的三帧随机相移阴影叠栅技术.主量分析法通过时域平均去除背景,对较少帧的条纹图直接使用主量分析法会产生直流分量去除误差,因而先将条纹图正则化,再应用主量分析法求取相位.实验表明,相对于直接使用主量分析法,利用正则化主量分析法可以明显减小测量误差.分别使用正则化主量分析法和五步相移法对同一物体表面进行测量,两次测量结果之差在±5 μm内,说明了正则化主量分析法的有效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杜虎兵		14	16	3.0	3.0
2	艾永旭		1	0	0.0	0.0