微机械加工技术在微传感器中的应用分析

• 作者: 裘敏浩
• 来源期刊: 中国设备工程
• 学科: 工学
• 关键词: 为机械加工技术 微传感器 应用
• 年，卷（期）: 2016,（16）
• 所属期刊栏目: 工艺与技术
• 页码范围: 87-88
• 页数: 2页
• 分类号: TP212
• 字数: 3155字
• 语种: 中文

摘要

随着科学技术的不断发展,微传感器因其微型化、智能化、低能耗和易集成的特点得到了广泛应用.微机械加工技术在微传感器的的制造工艺中得到了越来越多的应用.本文主要阐述了微机械加工技术在微传感器中的应用.