惯性冲击式压电精密定位装置的设计

• 作者: 周昇 朱华 王寅 黄卫清
• 来源期刊: 机械科学与技术
• 学科: 工学
• 关键词: 压电材料 精密定位 惯性冲击 位移分辨率
• 年，卷（期）: 2016,（7）
• 所属期刊栏目: 机械动力学
• 页码范围: 992-997
• 页数: 6页
• 分类号: TH122|TH742
• 字数: 2683字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13433/j.cnki.1003-8728.2016.0702

摘要

为了实现对负载纳米级的精密定位,提出了一种利用压电材料作为驱动元件的三驱动足精密定位装置.设计了基于惯性冲击原理的精密定位装置的结构,介绍了其具体工作过程,并对驱动足的工作过程进行了理论分析.制作样机并搭建了实验系统,采用显微镜物镜进行了定位性能的测试.实验结果表明:在锯齿波电压信号的驱动下,通过改变驱动电压信号的占空比,该精密定位装置能够实现所夹持负载的双向直线运动,当电压值为80 V;电压频率为80 Hz时,该装置的位移分辨率可以达到100 nm的精度,且运行平稳,工作性能良好,步距均匀,可以实现所夹持负载纳米级的定位要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄卫清	南京航空航天大学机械结构力学与控制国家重点实验室	124	1217	19.0	27.0
2	朱华	南京航空航天大学机械结构力学与控制国家重点实验室	41	544	12.0	22.0
3	王寅	南京航空航天大学机械结构力学与控制国家重点实验室	32	240	9.0	13.0
4	周昇	南京航空航天大学机械结构力学与控制国家重点实验室	2	6	2.0	2.0