日立S-450扫描电镜真空系统分析及故障处理

• 作者: 庞海龙
• 来源期刊: 甘肃科技纵横
• 学科: 工学
• 关键词: 扫描电镜 真空系统分析 故障处理
• 年，卷（期）: 2016,（5）
• 所属期刊栏目: 工业科技
• 页码范围: 32-34,58
• 页数: 4页
• 分类号: TN16
• 字数: 3934字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6375.2016.05.010

摘要

在对日立S-450型扫描电镜真空系统的组成结构、工作流程、控制原理及电路特点认真研究的基础上,对真空系统放气流程中发生的故障进行了详细描述分析.从控制电路的电源人手,将故障范围缩小到了电磁阀驱动电路,通过对此电路组成的特点分析、电路关键点参数的测量及其相关电子元器件技术参数的查阅,采用国产元器件成功修复了扫描电镜不能执行放气流程的故障,并从加强学习、注意收集资料、处理故障的方法、积极的日常维护等方面浅谈了扫描电镜维护与故障处理的几点体会,希望对还在继续使用同类电镜的同仁有所参考,使这类老型号的大型精密仪器能够继续发挥作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	庞海龙	西北师范大学生命科学学院	19	127	6.0	11.0