激光聚焦线扫描法测量KDP晶体坯片的体缺陷

• 作者: 倪开灶 刘世杰 吴周令 陈坚
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 磷酸二氢钾(KDP)晶体 晶体坯片 体缺陷 激光聚焦线扫描 散射测量
• 年，卷（期）: 2016,（12）
• 所属期刊栏目: 高功能激光光学元器件
• 页码范围: 3020-3026
• 页数: 7页
• 分类号: O77|TN247
• 字数: 2366字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20162412.3020

摘要

为了快速准确测量磷酸二氢钾(KDP)晶体坯片的体缺陷,提出了高速激光聚焦线扫描散射成像方法,并建立了相应的测量系统.研究了该系统的测量原理和图像采集、图像处理和体缺陷信息提取方法.基于激光散射技术,结合高速运动装置对晶体坯片内部进行三维扫描,用线阵CCD探测器接收气泡、包裹物等体缺陷产生的散射光.然后利用折射率匹配液消除粗糙表面带来的不利影响.最后结合数字图像处理技术,对采集的图像进行实时处理.通过去除背景后与设定阈值比较得到具有体缺陷特征的图像,再对其进行二值化处理,提取得到体缺陷的位置和尺寸信息.利用该检测装置对KDP晶体坯片体缺陷进行了测量,结果显示其检测分辨率优于40 μm,能够为晶体坯片的精确切割和最大程度的利用提供依据,从而节省了大量成本.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘世杰	中国科学院上海光学精密机械研究所强激光材料重点实验室	29	104	5.0	9.0
2	倪开灶	中国科学院上海光学精密机械研究所强激光材料重点实验室	1	1	1.0	1.0
3	吴周令		1	1	1.0	1.0
4	陈坚		1	1	1.0	1.0