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摘要:
Bulk Czochralski silicon crystals were decorated with Cu and characterized by transmission electron microscopy (TEM) with energy-dispersive spectroscopy (EDS), atomic force microscopy (AFM), optical microscopy (OM), scanning electron microscopy (SEM), and photoluminescence spectroscopy (PL). The vacancy-type core, oxidation-induced stacking faults (OISF) ring, nearly defect-free ring, and self-interstitial-type rich outer ring were delineated in the Si crystal wafer. At the surface of the Si crystal, vertical-horizontal line (V-H line) defects and windmill defects (W-defects) were formed instead of OISF. The families of growth planes and directions were expressed as {011} and for the V-H line and {010} and for W-defects, respectively. In addition to V-H line defects and W-defects, pits or voids and Si oxide with dissolved Cu were found in the Si crystal wafer.
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文献信息
篇名 Identification of Grown-In Defects in CZ Silicon after Cu Decoration
来源期刊 显微镜研究(英文) 学科 医学
关键词 CZ Silicon CU DECORATION MICROSTRUCTURES DEFECTS Transmission Electron Mi-croscopy
年,卷(期) 2017,(2) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 11-19
页数 9页 分类号 R73
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研究主题发展历程
节点文献
CZ
Silicon
CU
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MICROSTRUCTURES
DEFECTS
Transmission
Electron
Mi-croscopy
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
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期刊影响力
显微镜研究(英文)
季刊
2329-3306
武汉市江夏区汤逊湖北路38号光谷总部空间
出版文献量(篇)
34
总下载数(次)
0
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