等刚度高灵敏探头弹性机构设计

• 作者: 周斌 张雅雯 李瑞君 王鹏宇 陈晶
• 来源期刊: 齐鲁工业大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 弹性机构 微纳米三坐标测量机 刚度
• 年，卷（期）: 2017,（1）
• 页码范围: 55-58
• 页数: 4页
• 分类号: TH122
• 字数: 1965字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16442/j.cnki.qlgydxxb.2017.01.011

摘要

针对微型和小型元件的测量问题,设计了一种微纳米三坐标测量机的接触式探头高灵敏弹性机构.弹性机构由铍铜合金簧片、铝合金悬浮片、钢混合玻璃纤维探针以及红宝石测球构成.当测球与被测物体接触时,簧片产生弹性形变,根据弹性理论对弹性机构进行分析并对尺寸进行优化设计,得出弹性机构的刚度可以达到0.110 mN/μm以下.最后通过ANSYS软件对弹性机构进行仿真验证,分析结果的正确性并得出结论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周斌		20	13	2.0	2.0
2	李瑞君	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	26	89	6.0	8.0
3	陈晶		21	8	1.0	2.0
4	张雅雯		14	5	1.0	2.0
5	王鹏宇	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	2	0	0.0	0.0