真空热处理对多弧离子镀TiAlSiN涂层性能的影响

• 作者: 崔学军 常鸿 张正权 林修州 金永中 陈昌浩
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 工学
• 关键词: TiAlSiN涂层 真空热处理 显微结构 力学性能
• 年，卷（期）: 2017,（1）
• 所属期刊栏目: 表面工程研究
• 页码范围: 70-76
• 分类号: TG174.444
• 语种: 中文
• DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20160726002

摘要

为提高TiAlSiN涂层的力学性能,研究了真空热处理对多弧离子镀TiAlSiN涂层微观组织和力学性能的影响.利用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、自动划痕仪、纳米压痕仪、摩擦磨损测试仪等表征其表面形貌、物相组成和力学性能.结果表明:热处理引起了涂层的晶格畸变,降低了TiN固溶体相的平均晶格常数,导致其衍射峰向高角度偏移;热处理会粗化涂层表面,并导致TiAlSi中间过渡层界面消失.经过800℃热处理后,涂层的纳米硬度和结合力达到最大值,分别为35.01GPa和54.45 N;涂层的平均摩擦因数最小,由热处理前的0.679降低至0.372,比热处理前下降了约45.2％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	金永中	四川理工学院材料科学与工程学院	89	417	11.0	16.0
2	崔学军	四川理工学院材料科学与工程学院	22	67	4.0	7.0
3	张正权	四川理工学院材料科学与工程学院	5	11	3.0	3.0
4	陈昌浩	四川理工学院材料科学与工程学院	6	10	2.0	3.0
5	常鸿		1	4	1.0	1.0
6	林修州	四川理工学院材料科学与工程学院	2	8	2.0	2.0