一种腐蚀清洗设备中的特异气体监测及处理

• 作者: 关宏武 刘玉倩 宋文超 高津平
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 腐蚀清洗 特异气体 监测处理
• 年，卷（期）: 2017,（1）
• 所属期刊栏目: 半导体制造工艺与设备
• 页码范围: 28-30
• 页数: 3页
• 分类号: TN305
• 字数: 1831字
• 语种: 中文

摘要

在湿法腐蚀清洗设备工艺过程中,使用盐酸和磷酸腐蚀表面材料为磷化铟的晶圆片,会产生一种有毒性的特异气体;针对这种特异气体,设计了一种对反应腔体内、设备内及室内的气体监测处理系统.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘玉倩	中国电子科技集团公司第四十五研究所	21	25	4.0	4.0
2	宋文超	中国电子科技集团公司第四十五研究所	17	18	2.0	4.0
3	关宏武	中国电子科技集团公司第四十五研究所	9	29	1.0	5.0
4	高津平	中国电子科技集团公司第四十五研究所	8	1	1.0	1.0