基于工业大数据的晶圆制造系统加工周期预测方法

• 作者: 乔非 朱雪初
• 来源期刊: 计算机集成制造系统
• 学科: 工学
• 关键词: 晶圆制造系统 工业大数据 数据驱动 加工周期 数据生命周期 预测回归
• 年，卷（期）: 2017,（10）
• 所属期刊栏目: 数字化/智能化/网络化制造技术
• 页码范围: 2172-2179
• 页数: 8页
• 分类号: TP301|TP391
• 字数: 5203字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13196/j.cims.2017.10.011

摘要

加工周期是晶圆制造系统的关键指标,对于进行准确的预测分析有助于帮助制定有效的调度排产计划.利用晶圆智能制造系统的工业大数据提取出有效信息,提出了基于工业大数据的晶圆加工周期预测方法框架;针对生产线状态会随时间推移动态变化、生产数据生命周期的问题,设计了预测模型的动态更新机制;考虑到生产线数据记录不准确的情况,比较了多种回归算法,以实例验证了所提方法的有效性.