氧化锌薄膜的微观结构及其结晶性能研究

• 作者: 兰椿 陆轴 陈首部
• 来源期刊: 中南民族大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化锌 薄膜 微观结构 结晶性能
• 年，卷（期）: 2017,（4）
• 所属期刊栏目: 物理与电子信息科学
• 页码范围: 67-72
• 页数: 6页
• 分类号: TM914
• 字数: 3489字
• 语种: 中文

摘要

以普通玻璃作为衬底材料,采用射频磁控溅射方法制备了氧化锌(ZnO)透明导电薄膜,通过X射线衍射(XRD)和X射线光电子能谱(XPS)测试,研究了衬底温度对薄膜微观结构及其结晶性能的影响.结果表明:所制备的ZnO薄膜均为(002)晶面择优取向生长的多晶薄膜,其微观结构和结晶性能与衬底温度密切相关.衬底温度对ZnO薄膜的织构系数TC(hkl)、平均晶粒尺寸、位错密度、晶格应变和晶格常数都具有不同程度的影响,当衬底温度为800 K时,ZnO薄膜样品的织构系数TC(002)最高(4.929)、平均晶粒尺寸最大(20.91 nm)、位错密度最小(2.289×1015 line·m-2)、晶格应变最低(2.781×10-3),具有最高的(002)晶面择优取向生长性和最佳的微观结构性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈首部	中南民族大学电子信息工程学院	30	137	7.0	10.0
2	陆轴	中南民族大学电子信息工程学院	19	78	6.0	8.0
3	兰椿	中南民族大学电子信息工程学院	6	43	4.0	6.0