品种诱导电化学沉积法制备AZO薄膜

• 作者: 刘洋 刘贵山 王勇兵 郭文明 马铁成
• 来源期刊: 大连工业大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 晶种诱导 电沉积 掺杂 AZO薄膜
• 年，卷（期）: 2017,（2）
• 所属期刊栏目: 纺织与材料工程
• 页码范围: 134-138
• 页数: 5页
• 分类号: TM914.4
• 字数: 2730字
• 语种: 中文

摘要

通过晶种诱导辅助电化学沉积法制备Al掺杂ZnO薄膜(AZO),利用XRD和SEM对薄膜的物相和形貌进行了表征,紫外-可见分光光度计和四探针式方阻仪分析了薄膜的光电性能,研究了不同Al掺杂浓度下AZO薄膜的晶体结构和光电性能.研究表明,一定含量的Al元素掺杂并不影响晶体的结构类型;制备的AZO薄膜均为六方纤锌矿结构,且掺杂后薄膜的电阻呈数量级下降;当Al3+掺杂浓度为0.005 mol/L时,AZO薄膜的结晶性最好,薄膜均匀致密,方块电阻为0.85 kΩ,光透过率达85％,禁带宽度为3.37 eV.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马铁成	大连工业大学新材料与材料改性省高校重点实验室	19	131	4.0	11.0
2	刘贵山	大连工业大学新材料与材料改性省高校重点实验室	48	121	6.0	9.0
3	刘洋	大连工业大学新材料与材料改性省高校重点实验室	16	52	4.0	7.0
4	王勇兵	大连工业大学新材料与材料改性省高校重点实验室	4	1	1.0	1.0
5	郭文明	大连工业大学新材料与材料改性省高校重点实验室	1	0	0.0	0.0