MEMS红外光源光谱特性及温度特性测试研究

• 作者: 丑修建 刘立 张辉 张鹏 王二伟
• 来源期刊: 红外技术
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS红外光源 辐射光谱 光谱测试 温度特性
• 年，卷（期）: 2017,（3）
• 所属期刊栏目: 测量技术
• 页码范围: 288-291
• 页数: 4页
• 分类号: TN214|TN383
• 字数: 2154字
• 语种: 中文

摘要

MEMS红外光源是基于微机电系统(MEMS)制造工艺的红外光源器件,为明确MEMS红外光源的辐射光谱分布特性和温度特性,采用SR5000光谱辐射计对MEMS红外光源进行辐射光谱分布特性测试,所得数据表明所选光源的红外光谱分布主要在3~5μm之间,中心波长位于3.6μm,该波段红外光具有接近90%的大气透过率;采用红外测温仪和热敏电阻对光源辐射体温度进行测试,结果显示所选MEMS红外光源温度特性优良,适用范围广泛.