移动加热器法晶体生长工艺的研究进展

• 作者: 刘俊成 翟慎秋 高笑
• 来源期刊: 材料科学与工艺
• 学科: 物理学
• 关键词: 晶体生长工艺 移动加热器法 基本原理 加热方式 工艺条件 生长速率
• 年，卷（期）: 2017,（4）
• 页码范围: 50-56
• 页数: 7页
• 分类号: O782
• 字数: 5369字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11951/j.issn.1005-0299.20160330

摘要

移动加热器法被认为是一种切实可行的生长大尺寸、高质量单晶体的方法,它结合了液相外延和区熔提纯的优点.本文阐述了移动加热器法晶体生长的基本原理、优缺点,综述了相关加热方式、晶体生长过程中的质量输运和热交换,并探讨了工艺条件(如重力场、磁场、强迫对流等和晶体生长速率)对移动加热器法生长晶体过程与晶体质量的影响,最后对移动加热器法的发展趋势进行了展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘俊成	山东理工大学材料科学与工程学院	83	537	13.0	18.0
2	高笑	山东理工大学材料科学与工程学院	2	1	1.0	1.0
3	翟慎秋	山东理工大学材料科学与工程学院	16	51	4.0	7.0