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高电荷态锡离子极真空紫外波段自吸收光谱轮廓的细致分析
高电荷态锡离子极真空紫外波段自吸收光谱轮廓的细致分析
作者:
孙对兄
敏琦
曹世权
苏茂根
董晨钟
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
激光等离子体
高电荷态离子
辐射流体动力学模型
自吸收效应
摘要:
等离子体动力学模拟是一种非常有效的等离子体状态诊断和光谱分析方法,已被广泛应用于激光等离子体光谱的解释和演化分析中.本文基于流体动力学方程和辐射输运方程,并结合稳态的碰撞辐射模型,提出了一种简化的能够分析模拟中高Z元素高电荷态离子极真空紫外(Extreme Ultraviolet,EUV)波段光谱的辐射流体动力学模型,并成功应用于激光产生的锡等离子体EUV光谱的分析和模拟.结果表明,理论模拟光谱与激光功率密度为1.90×1011 W/cm2的实验光谱之间具有良好的一致性.通过比较Sn7+-Sn11+离子的4d-4f,4p-4d和4d-5p,5跃迁阵列的发射轮廓和自吸收轮廓,明确了不透明度效应对发射光谱轮廓的影响,成功解释了13.5 nm附近自吸收带和自吸收峰的成因.相关研究预期能够为极真空紫外辐射在光刻、计量、生物成像等领域的应用研究提供参考.
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文献信息
篇名
高电荷态锡离子极真空紫外波段自吸收光谱轮廓的细致分析
来源期刊
中国科学(物理学 力学 天文学)
学科
关键词
激光等离子体
高电荷态离子
辐射流体动力学模型
自吸收效应
年,卷(期)
2017,(12)
所属期刊栏目
论文
研究方向
页码范围
54-61
页数
8页
分类号
字数
语种
中文
DOI
10.1360/SSPMA2016-00520
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
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董晨钟
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苏茂根
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孙对兄
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辐射流体动力学模型
自吸收效应
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研究来源
研究分支
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中国科学(物理学 力学 天文学)
主办单位:
中国科学院
出版周期:
月刊
ISSN:
1674-7275
CN:
11-5848/N
开本:
出版地:
北京东黄城根北街16号
邮发代号:
创刊时间:
语种:
chi
出版文献量(篇)
2745
总下载数(次)
4
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