飞秒激光作用下薄膜的阈值损伤到膜层剥落

• 作者: 戴一帆 朱志武 石峰 程湘爱
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 工学
• 关键词: 飞秒激光 光学薄膜 激光损伤 纳米颗粒缺陷 场增强效应
• 年，卷（期）: 2017,（3）
• 页码范围: 361-366
• 页数: 6页
• 分类号: TB43
• 字数: 3553字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11972/j.issn.1001-9014.2017.03.019

摘要

在飞秒单脉冲激光损伤HfO2/SiO2薄膜样品实验中,随着激光能量密度升高,膜层从缺陷导致的点损伤发展到整层剥落,损伤区域轮廓由模糊变清晰.研究表明,尺度在纳米量级的颗粒缺陷会产生局部的场增强效应,该效应与薄膜干涉场叠加,造成了阈值损伤阶段损伤区域出现大量损伤点,且由于飞秒激光对包括缺陷在内的薄膜材料的本征损伤特性,使其损伤行为较为确定,随着激光能量的提升,薄膜出现更大面积的规则烧蚀区,此时干涉场的作用上升到主导地位,膜层的整层剥落行为掩盖了缺陷的诱导作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	戴一帆	国防科学技术大学机电工程与自动化学院	64	1121	16.0	32.0
2	程湘爱	国防科学技术大学光电科学与工程学院	47	437	12.0	17.0
3	石峰	国防科学技术大学机电工程与自动化学院	14	144	6.0	12.0
4	朱志武	国防科学技术大学机电工程与自动化学院	6	53	2.0	6.0