MEMS矢量水听器灵敏度自动测试系统设计

• 作者: 丁俊文 尚珍珍 张国军 曾瑞 杨晟辉 韩建军
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 矢量水听器 微机电系统 灵敏度 测试装置 自动化
• 年，卷（期）: 2017,（4）
• 所属期刊栏目: 微纳技术
• 页码范围: 66-70
• 页数: 5页
• 分类号: TN302
• 字数: 2223字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11884/HPLPB201729.160521

摘要

针对微机电系统(MEMS)矢量水听器声压灵敏度测试中出现的测试步骤单一、测试任务繁重且耗时多,同时手动测量存在不确定的操作误差等问题,在分析矢量水听器灵敏度测试原理和测试过程的基础上,采用AD9850,AD8599,PGA205、单片机MK60DN512ZVLQ110等芯片,设计了集成信号激励源、微弱信号检测、调理以及信号采样和传输等模块的矢量水听器灵敏度自动测试装置.该装置将测试现场的仪器“缩小”,多模块功能集成,通过与PC上位机连接控制,快速、实时地完成矢量水听器灵敏度测试标定,在节约测试时间的同时,也能快速地完成对水听器的优化改进的验证;此装置体积小、轻便,测试连线简单,方便外场测试,促进MEMS水听器工程化应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张国军	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	75	334	8.0	13.0
2	尚珍珍	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	8	11	2.0	2.0
3	韩建军	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	2	5	2.0	2.0
4	丁俊文	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	5	10	2.0	2.0
5	杨晟辉	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	6	12	2.0	2.0
6	曾瑞		1	3	1.0	1.0