微纳结构对电容式柔性压力传感器性能影响的研究

• 作者: 全勇 吴双红 吴涛 庞韩英 肖伦 蒋亚东 陈志 魏雄邦
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 柔性压力传感器 微纳结构 聚二甲基硅氧烷(PDMS) 银纳米线
• 年，卷（期）: 2017,（3）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 337-340
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 字数: 3298字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2017.03.001

摘要

设计制备出三明治结构的电容式柔性压力传感器,并对其性能进行研究.该传感器以银纳米线为电极材料,聚二甲基硅氧烷(PDMS)为柔性衬底,同时采用毛面玻璃和光面玻璃分别作为柔性衬底的制备模板,制备出微纳结构和平面结构的PDMS薄膜.然后采用喷涂法制备AgNWs/PDMS复合电极,以另外一层PDMS为介电层,将两电极面对面封装,得到电容式柔性压力传感器,最后系统研究了传感器的电极微纳结构对器件性能的影响.本文研究表明,具有微纳结构的AgNWs/PDMS复合薄膜传感器的灵敏度为1.0 kPa-1,而平面结构的AgNWs/PDMS复合薄膜传感器的灵敏度为0.6 kPa-1,由此可知具有微纳结构的柔性衬底能够显著提高器件的灵敏度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋亚东	电子科技大学光电信息学院	318	2024	18.0	25.0
2	陈志	电子科技大学光电信息学院	12	58	5.0	7.0
3	吴涛	电子科技大学光电信息学院	16	72	5.0	8.0
4	魏雄邦	电子科技大学光电信息学院	18	94	6.0	8.0
5	吴双红	电子科技大学光电信息学院	2	15	1.0	2.0
6	全勇	电子科技大学光电信息学院	2	15	1.0	2.0
7	肖伦	电子科技大学光电信息学院	1	15	1.0	1.0
8	庞韩英	电子科技大学光电信息学院	1	15	1.0	1.0