三氯氢硅除硼吸附性能研究

• 作者: 于跃 吴锋 田新
• 来源期刊: 山东化工
• 学科: 工学
• 关键词: 三氯氢硅 载体硅胶 吸附
• 年，卷（期）: 2017,（19）
• 所属期刊栏目: 科研与开发
• 页码范围: 29-30
• 页数: 2页
• 分类号: TN304.052|TQ127.2
• 字数: 1742字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-021X.2017.19.010

摘要

利用固体吸附剂来去除三氯氢硅(TCS)中的极性杂质硼是电子级多晶硅的生产领域中是一种比较有效方法.本文利用四氯化铂作为吸附质,以层析硅胶作为载体,制备出一种载体型除硼吸附剂.并将其应用于吸附三氯氢硅中的硼杂质,考察其吸附性能.实验结果表明:制备的硅胶/四氯化铂载体型除硼吸附剂具有明显的除硼吸附效果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴锋		5	7	2.0	2.0
2	于跃		6	8	2.0	2.0
3	田新		5	8	2.0	2.0