超短源-衬距离衬底转动蒸发制备自支撑同位素靶的技术研究

• 作者: 孟波 张榕 杜英辉 樊启文 王华
• 来源期刊: 原子能科学技术
• 关键词: 真空蒸发 衬底转动 同位素靶 不均匀性 材料利用率
• 年，卷（期）: 2017,（9）
• 所属期刊栏目: 技术及应用
• 页码范围: 1710-1715
• 页数: 6页
• 分类号: O484.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.7538/yzk.2017.51.09.1710

摘要

研究了超短源-衬距离衬底转动蒸发制备自支撑同位素靶的技术.通过计算不同条件下衬底转动蒸发沉积的靶膜厚度分布、材料利用率及不均匀性,确定了最佳的源-衬距离和源-轴距离的匹配值.研究了蒸发舟材料、蒸发时间和蒸发距离对沉积靶膜的影响.实验表明,制备φ10 mm的靶时,对于熔点分别为100～600、700～1 200、1 300～1 600和1 600～1 900 ℃的材料,合适的源-衬距离分别为13、15、20和25 mm,对应的源-轴距离分别为12.5、13.0、14.5和16.0 mm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杜英辉	中国原子能科学研究院核物理研究所	9	20	3.0	4.0
2	樊启文	中国原子能科学研究院核物理研究所	9	4	1.0	2.0
3	张榕	中国原子能科学研究院核物理研究所	6	4	1.0	2.0
4	王华	中国原子能科学研究院核物理研究所	4	0	0.0	0.0
5	孟波	中国原子能科学研究院核物理研究所	4	0	0.0	0.0