基于激光诱导击穿光谱的真空灭弧室真空度在线检测实验研究

• 作者: 丁洪斌 刘定新 刘平 宋立冬 杨爱军 王小华 荣命哲 袁欢
• 来源期刊: 高压电器
• 关键词: 真空度 在线检测 激光诱导击穿光谱 主成分 神经网络
• 年，卷（期）: 2017,（3）
• 所属期刊栏目: 真空开关操动机构和在线监测研究
• 页码范围: 230-234
• 页数: 5页
• 语种: 中文
• DOI: 10.13296/j.1001-1609.hva.2017.03.036

摘要

真空断路器真空度在线检测经历了半个多世纪的研究,现在仍没有很好的技术投入到实际应用.文中采用激光诱导击穿光谱技术(LIBS),在实验室条件下初步研究了10-3 Pa至105 Pa气压下真空灭弧室屏蔽罩铜材料及周围气体元素元素的LIBS信号,得到了不同真空度下谱线强度随真空度的变化规律.进而通过主成分分析(PCA)和人工神经网络(ANN)算法对多种元素的谱线强度进行分析,获得了主成分因子在相空间的分布和神经网络预测结果.分析结果表明10-3 Pa至105 Pa这10个气压等级下的LIBS信号在PCA相空间中呈现良好的分类聚集,神经网络预测结果准确率达到96.67％.笔者提出了一种真空度在线检测的新方法,克服了传统方法抗电磁干扰能力差、检测限低的难题,具有良好的应用前景.