基于鼓膜法的薄膜力学性能测试研究

• 作者: 修强 张冲 李鲁鲁 马树军
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 鼓膜实验 力学性能 弹性模量 悬空薄膜 激光干涉法 纯铝薄膜
• 年，卷（期）: 2017,（9）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 8-12
• 页数: 5页
• 分类号: TP212
• 字数: 2775字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13873/J.1000-9787(2017)09-0008-05

摘要

采用自行研制的鼓膜实验装置,结合迈克尔逊激光干涉位移测量技术,获取薄膜的变形值与压力值之间的关系曲线,以实现薄膜试样力学性能的测试.对鼓膜法测试薄膜力学性能的现状做了评述;对实验原理以及装置设计进行论述;进行实验测量,并对实验结果进行有限元分析与仿真.对纯铝薄膜(纯度99.9％,厚为210 μm)进行鼓膜实验,测得其弹性模量E为68.3 GPa,与资料结果基本一致,说明研制的鼓膜实验装置测量薄膜力学性能方法切实可行.实验装置对于在微/纳机电系统(MEMS/NEMS)中广泛应用的薄膜材料的力学性能表征具有十分重要的意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马树军	东北大学机械工程与自动化学院	17	12	2.0	2.0
2	修强	东北大学机械工程与自动化学院	3	2	1.0	1.0
3	张冲	东北大学机械工程与自动化学院	3	3	1.0	1.0
4	李鲁鲁	东北大学机械工程与自动化学院	2	1	1.0	1.0