氟硅酸盐制取四氟化硅的研究进展

• 作者: 何元琴 何磊 唐安江 王乐深 蔡苗
• 来源期刊: 硅酸盐通报
• 学科: 工学
• 关键词: 四氟化硅 氟硅酸盐 分解 工艺
• 年，卷（期）: 2017,（3）
• 所属期刊栏目: 综合评述
• 页码范围: 859-863
• 页数: 5页
• 分类号: TQ129
• 字数: 3021字
• 语种: 中文

摘要

SiF4多被应用于电子行业和半导体行业,氟硅酸盐制备SiF4是制备方法中的一种.本文介绍了氟硅酸盐的性质,制备方法,以及氟硅酸盐制备SiF4的方法,并对部分氟硅酸盐制备SiF4的条件及产物进行了对比.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐安江	贵州理工学院化学工程学院	28	32	3.0	4.0
2	王乐深	贵州大学化学与化工学院	3	4	1.0	2.0
3	蔡苗	贵州大学化学与化工学院	5	5	1.0	2.0
4	何磊	贵州大学化学与化工学院	11	18	3.0	4.0
5	何元琴	贵州大学化学与化工学院	5	11	2.0	3.0