四氟化硅的工艺研发及进展状况

• 作者: 李霞 王建萍 韩建军
• 来源期刊: 无机盐工业
• 关键词: 四氟化硅 氟硅酸 氢氟酸 氟气
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 所属期刊栏目: 综述与专论
• 页码范围: 4-7
• 页数: 4页
• 分类号: TQ127.2
• 语种: 中文

摘要

四氟化硅是电子工业中的一种重要原料,随着多晶硅等行业迅猛发展需求量逐渐增大.详细介绍了四氟化硅的应用及市场情况,并对氟气合成法、氟硅酸盐热解法、硫酸法、氢氟酸直接反应法这4种主要生产方法进行详细论述,讨论了各工艺方法的生产原理、工艺简述、研究状况并对工艺的优缺点进行了评价.就目前市场形势分析,国内四氟化硅需开发高端产品,以适应市场需求和参与国际竞争.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李霞		9	20	3.0	4.0
2	韩建军		8	21	2.0	4.0
3	王建萍		23	38	3.0	5.0