四氟化硅的生产概况

• 作者: 于剑昆
• 来源期刊: 无机盐工业
• 关键词: 四氟化硅 氟硅酸 硅酸盐
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 综述与专论
• 页码范围: 1-4
• 页数: 4页
• 分类号: TQ127.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-4990.2006.01.001

摘要

四氟化硅(SiF4)是电子工业中的一种重要原料,它还能用作光导纤维、太阳能电池和水泥硬化剂等的原料.详细介绍了SiF4的物理、化学性质及危险特性.SiF4的工业生产方法主要有硫酸法、六氟硅酸盐热解法和Si-HF直接合成法3种.电子工业用SiF4需要有较高的纯度,重点介绍了SiF4的精制工艺,同时还介绍了SiF4经济概况.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于剑昆		86	542	13.0	17.0