墨水直写、喷墨打印和激光直写技术及其在微电子器件中的应用

• 作者: 周涵 唐兴伟 范同祥 陈燎
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 工学
• 关键词: 直写技术 微电子制造 电极
• 年，卷（期）: 2017,（5）
• 页码范围: 158-164
• 页数: 7页
• 分类号: TP39|TB332
• 字数: 5946字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11896/j.issn.1005-023X.2017.09.022

摘要

直写技术是一种新型微加工技术,其加工过程不需模板并可在亚微米至厘米范围实现材料加工成型.墨水直写、喷墨打印和激光直写作为最常用的直写技术,具有强大的二维、三维成型能力和优异的成型精度,可实现金属、陶瓷、聚合物、水凝胶等复杂构型的程序化构筑,被广泛应用于微电子、组织工程、微流控等领域.阐述了这3种直写技术的构型原理和材料选择,重点介绍了其在微电子器件制造中的应用,讨论了当前研究的难点和热点问题,并对其未来发展趋势进行了展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	范同祥	上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室	45	435	10.0	19.0
2	周涵	上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室	9	25	4.0	4.0
3	陈燎	上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室	1	3	1.0	1.0
4	唐兴伟	上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室	1	3	1.0	1.0