基于MEMS微振镜的高精度正弦光栅产生方法

• 作者: 冯晨 杨辉 陈文艺
• 来源期刊: 计算机与数字工程
• 学科: 工学
• 关键词: 正弦光栅 非线性失真 MEMS 失真度
• 年，卷（期）: 2018,（2）
• 所属期刊栏目: 图像处理
• 页码范围: 367-370,401
• 页数: 5页
• 分类号: TP391
• 字数: 2070字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-9722.2018.02.031

摘要

为提高相位测量轮廓术中正弦光栅的精度,提出一种基于MEMS微振镜的新型正弦光栅产生方法.采用对矩形光栅叠加的思想,在图像传感器一次曝光过程中,对多幅亮度相同、周期相同、占空比不同的矩形光栅进行光积分,最终输出正弦光栅图像.实验分析表明,相比基于光强调制方式的传统正弦光栅产生方法,该方法解决了非线性失真问题,能够产生更高精度的正弦光栅,具有成本低、体积小、能够通过编程灵活变换光栅图案等优点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈文艺	西安邮电大学物联网与两化融合研究院	63	351	10.0	16.0
2	杨辉	西安邮电大学物联网与两化融合研究院	19	48	4.0	6.0
3	冯晨	西安邮电大学电子工程学院	3	12	1.0	3.0