离心熔铸非球面镜镜胚 面形偏差工艺参数的敏感性研究

• 作者: 于阳 张心明 徐鑫莉 蔡鹏 赵立新
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 离心熔铸 非球面镜镜胚 工艺 面形偏差 迭代补偿
• 年，卷（期）: 2018,（7）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 1719-1727
• 页数: 9页
• 分类号: O439|TH171.65
• 字数: 2865字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20182607.1719

摘要

离心熔铸技术在大口径非球面镜镜胚的制造方面具有独特优势.本文通过自行研制的缩比模型实验机进行试验,深入研究了离心熔铸工艺及成型镜胚质量,详细介绍了模具涂层的制备、离心熔铸的加热及冷却等工艺过程,制备了非球面镜镜胚模型.采用数值模拟与试验研究相结合的方法,对所得镜胚面形偏差工艺参数的敏感性进行了研究.分析了模具的热膨胀系数、镜胚冷却速率、直径及加热温度对面形偏差的影响,得到了偏差工艺参数的敏感性规律.通过对面形偏差进行两次迭代补偿,面形偏差值从-84μm降到33μm,补偿后的结果满足设计要求.采用离心熔铸技术,可以制备满足上表面垂直偏差在30~40μm范围内的非球面镜镜胚.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张心明	长春理工大学机电工程学院	74	324	10.0	14.0
2	徐鑫莉	长春理工大学机电工程学院	6	21	3.0	4.0
6	蔡鹏		8	5	2.0	2.0
7	于阳	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	15	83	5.0	9.0
8	赵立新		3	1	1.0	1.0