TFT-LCD改善Particle Gap的研究

• 作者: 姚晔 尹文祥 张南红 李静 汤展峰 范恒亮 辛志远 陈文智 韩君奇 高欢
• 来源期刊: 液晶与显示
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜电晶体-液晶显示器 ParticleGap CF研磨失败异物 透明状异物 沙粒状异物
• 年，卷（期）: 2018,（2）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 129-137
• 页数: 9页
• 分类号: TN141.9
• 字数: 4308字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/YJYXS20183302.0129

摘要

Particle Gap是TFT-LCD制程中常见的一种缺陷.以55 UHD产品为例,Particle Gap 发生率约为1.0%,对产品良率影响较大,为提升液晶屏品质和客户满意度,急需改善此不良.文章结合不良现象研究 Particle Gap 的主要异物模式,最终通过改善CF研磨失败异物、沙粒状异物和透明状异物这种模式达到整体 Particle Gap 降低的效果.首先利用流程图分析影响异物模式的关键步骤,然后通过鱼骨图、决策矩阵、假设检验验证找出影响异物模式的显著因素,最后通过合力促进法总结出显著因素的最佳改善方案,导入量产并文件标准化,可平行推广至55UHD以外的其它尺寸.改善结果表明:通过以上3种异物类型的改善,55UHD Particle Gap发生率降低至少30%,为公司带来了巨大且显著的硬性节省.