一种氮化硼/石墨烯/氮化硼异质结制备工艺研究

• 作者: 吴承根 李孟委 王俊强 赵世亮
• 来源期刊: 中北大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 石墨烯 氮化硼 异质结 制备工艺
• 年，卷（期）: 2018,（3）
• 所属期刊栏目: 电子与电子信息
• 页码范围: 344-349
• 页数: 6页
• 分类号: TG174.4|TB383
• 字数: 3215字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-3193.2018.03.016

摘要

针对目前石墨烯类器件核心敏感结质量不高的现状,基于石墨烯和氮化硼的转移工艺设计了一种高质量的氮化硼/石墨烯/氮化硼异质结制备工艺.本工艺应用垂直气象干燥法、热合成以及纳米薄膜图形化等单步工艺优化了石墨烯和氮化硼的湿法转移技术,减少了转移过程中外部环境对石墨烯的影响,最终达到提高转移质量的目的.SEM扫描图显示异质结制备成功,拉曼光谱仪的测试结果表明氮化硼/石墨烯/氮化硼异质结的G峰位置为1586 cm-1,2D峰位置为2683 cm-1,强度比为5.34,异质结具有较高的质量.