单晶锗表面抛光的ABAQUS多颗粒冲击仿真与实验分析

• 作者: 冷智毅 杨晓京
• 来源期刊: 昆明理工大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: ABAQUS仿真 多颗粒 单晶锗 残余应力
• 年，卷（期）: 2018,（4）
• 所属期刊栏目: 机械、电子信息与自动控制
• 页码范围: 51-58
• 页数: 8页
• 分类号: TH164
• 语种: 中文
• DOI: 10.16112/j.cnki.53-1223/n.2018.04.007

摘要

单晶锗是一种难加工脆性材料, 通过使用固液两相流加工方法可获得较好的表面质量.为探究磨粒相关因素对加工质量的影响, 根据实际材料的参数, 利用ABAQUS有限元仿真软件建立多颗粒冲击仿真模型, 研究磨粒材料、粒径对加工后单晶锗表面质量、表面材料去除速率的关系;然后利用现有设备进行实验.研究表明, 加工后的单晶锗材料表面质量提高;使用较大尺寸磨粒可有效增加去除率, 降低残余应力, 但会增加表面粗糙度;使用较大弹性模量、低硬度材料的磨粒加工会产生相对较小残余应力;同时, 由于软件限制, ABAQUS有限元软件不能很好地对液体项等因素进行仿真, 这会导致仿真结果与实验结果的偏差.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨晓京		115	997	17.0	28.0
2	冷智毅		3	0	0.0	0.0