新型MEMS电容真空传感器的设计及其分析

• 作者: 孙雯君 成永军 曹生珠 李刚 李得天 王呈祥 韩晓东
• 来源期刊: 真空与低温
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 电容真空传感器 有限元 接触模型
• 年，卷（期）: 2018,（5）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 315-320
• 页数: 6页
• 分类号: TB77
• 字数: 2018字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-7086.2018.05.005

摘要

为了延伸MEMS电容式真空传感器测量范围、提高抗过载能力,设计了一种新型岛状结构下电极.利用有限元方法分析该结构与传统结构真空传感器的压力-挠度、压力-电容、压力-薄膜应力关系.研究发现,与传统结构相比,新型结构真空传感器的低压灵敏度更高、线性输出性能更好、抗过载能力更强,可为MEMS电容式真空传感器研制提供参考.