基于薄膜热电堆的新型高温瞬态热流密度传感器的研制

• 作者: 刘正坤 周丽丽 宝剑光 柴葳 洪义麟
• 来源期刊: 宇航计测技术
• 学科: 工学
• 关键词: 热流传感器 光刻工艺 薄膜 离子束 溅射
• 年，卷（期）: 2018,（6）
• 所属期刊栏目: 精密测试技术
• 页码范围: 50-56
• 页数: 7页
• 分类号: TP212.11
• 字数: 3836字
• 语种: 中文
• DOI: 10.12060/j.issn.1000-7202.2018.06.09

摘要

目前针对国内薄膜瞬态热流传感器一致性较差、制备工艺不成熟等问题,提出了一种基于光刻工艺和离子束溅射镀膜工艺的制备方法,200对T型金属薄膜热电偶沉积在10mm×10mm的水冷块上,测量1μm的氧化铝热阻层温差,从而得到瞬态热流密度值.对新型高温瞬态热流密度传感器进行比对法标定,一致性误差为0.211％,即工艺的一致性约为99.79％.实验表明,研制的新型高温瞬态热流密度传感器的一致性好,制备工艺具备良好重复性和可移植性,能够满足高温瞬态热流检测需要,为热流传感器的推广应用及标准化、批量化生产提供了良好的技术支撑.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	洪义麟	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	56	478	13.0	19.0
2	周丽丽	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	14	84	5.0	8.0
3	刘正坤	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	32	132	6.0	9.0
4	宝剑光		5	3	1.0	1.0
5	柴葳		5	3	1.0	1.0