氮化硅陶瓷水射流辅助激光精密加工

• 作者: 姚燕生 汪俊 袁根福 陈庆波 陈雪辉
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 水射流辅助激光加工 表面质量 试验研究 氮化硅
• 年，卷（期）: 2018,（11）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 2723-2731
• 页数: 9页
• 分类号: TG665
• 字数: 3647字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20182611.2723

摘要

为解决工程陶瓷在激光加工中的表面质量问题提出了溶液辅助激光加工方法,首先在综合国内外有关研究的基础上,分析了激光穿越水层的能量传输、激光作用水下固体物质的热传导和静水及水射流辅助激光加工的作用机理;搭建了旁轴射流与超声振动辅助激光复合加工系统,开展了不同加工条件下氮化硅陶瓷刻槽对比试验.借助扫描电子显微镜检测分析激光刻蚀槽体形貌,运用激光共聚焦显微镜观测了槽体截面轮廓.研究表明,水射流辅助激光加工氮化硅陶瓷,因激光穿越水层、水的对流冷却等作用减少了激光烧蚀材料的有效能量,刻蚀深度有所降低;同时由于水层的存在改变了加工区域能量分布,使得槽口变宽.当激光电流200 A、频率50 Hz、脉宽0.6 ms时刻槽深度相对减小30％,宽度增大21％.水与氮化硅在激光作用下的会发生水解等效应,且水蒸汽、材料蒸汽、熔融粒子、气泡等沿水流动方向被带走,有利于表面质量的提高,综合效果良好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈雪辉	安徽建筑大学机械与电气工程学院	44	123	7.0	9.0
2	姚燕生	安徽建筑大学机械与电气工程学院	21	138	7.0	11.0
3	袁根福	江南大学机械工程学院	20	41	4.0	6.0
4	陈庆波	安徽建筑大学机械与电气工程学院	4	5	1.0	2.0
5	汪俊	安徽建筑大学机械与电气工程学院	3	5	1.0	2.0