动压气浮马达轴承间隙测量设备

• 作者: 任同群 刘指柔 徐向东 王晓东 秦波
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微位移测量 动压气浮马达 轴承间隙 自动施力
• 年，卷（期）: 2018,（11）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 2714-2722
• 页数: 9页
• 分类号: TP23|TB921
• 字数: 4428字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20182611.2714

摘要

动压气浮陀螺马达轴承间隙尺寸是决定其运转性能的重要指标.为提高轴承间隙测量的精度和自动化程度,并实现快速批量测量,研制了一台动压气浮陀螺马达轴承间隙自动测量设备.采用外部加力方式,使转子体与定子产生相对位移,从而将内部气膜间隙转化为外部微位移.设备整体结构采用模块化设计理念,包括夹持模块、自动施力模块和位移测量模块.夹持摸块实现被测动压马达定子在两轴端的固定,采用柔性支撑方式有利于保护被测件和保证施加力的平顺性;自动施力模块主要由三维精密位移平台集成三轴测力传感器构成,测量时转子体与力传感器通过夹指连接,位移平台使转子体与定子产生相对位移,三轴测力传感器则实现施加力的精确控制和定子的调中心控制;测量模块由二维精密位移平台集成双电感测头构成,基于相对测量原理实现微小位移测量.实验表明:设备测量精度在0.3 μm以内.该设备可以实现外力的可控连续加载,适用于批量测量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐向东	大连理工大学微纳米技术及系统辽宁省重点实验室	2	6	1.0	2.0
2	任同群	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	11	28	3.0	5.0
6	秦波	大连理工大学微纳米技术及系统辽宁省重点实验室	2	0	0.0	0.0
7	刘指柔	大连理工大学微纳米技术及系统辽宁省重点实验室	1	0	0.0	0.0