晶硅和蓝宝石加工用金刚石工具

• 作者: 刘一波 徐强 徐良
• 来源期刊: 超硬材料工程
• 学科: 工学
• 关键词: 单晶硅 多晶硅 蓝宝石 金刚石线锯 砂轮
• 年，卷（期）: 2018,（6）
• 所属期刊栏目: 产业与综述
• 页码范围: 47-51
• 页数: 5页
• 分类号: TQ164
• 字数: 3583字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-1433.2018.06.016

摘要

文章综述了金刚石工具向光伏、LED和半导体等新兴领域的发展,指出了金刚石工具越来越精细化的趋势;介绍了单晶硅、多晶硅和蓝宝石加工过程中用到的金刚石工具,其中对金刚石线锯、高精密金刚石砂轮、金刚石超薄划片、高精度套料钻头和CMP修整器在文章中做了重点介绍,最后就国内金刚石工具的发展趋势做了简单阐述.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘一波		50	153	7.0	9.0
2	徐良		19	50	5.0	6.0
3	徐强		7	16	2.0	4.0