基于电化学腐蚀法的钨探针制备装置研究

• 作者: 徐靖涛 李东升 李琪 汪雅丽 高思田 黄鹭
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 钨探针 电化学腐蚀 长径比 曲率半径
• 年，卷（期）: 2018,（3）
• 页码范围: 294-298
• 页数: 5页
• 分类号: TB92
• 字数: 2465字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2018.03.02

摘要

基于电化学腐蚀法制备钨探针的原理,设计了一套钨探针制备装置,并对钨探针制备参数进行了研究.装置的实验部分用于调整探针与电解槽的相对位置和运动参数,控制部分用于监测、控制并记录电化学反应的状态.与传统腐蚀探针相比,该装置通过控制电路控制探针腐蚀过程中运动参数,获得了形状可控的大长径比探针;同时通过精确控制腐蚀反应时间,可制备针尖曲率半径范围为5 ～ 20 nm的探针.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李东升	中国计量大学计量测试工程学院	176	977	16.0	19.0
2	高思田		93	567	11.0	19.0
3	李琪		21	48	4.0	5.0
4	黄鹭		13	16	2.0	3.0
5	汪雅丽	浙江理工大学机械与自动控制学院	2	6	2.0	2.0
6	徐靖涛	中国计量大学计量测试工程学院	1	2	1.0	1.0