基于叉指状电容结构的微纳力测量装置

• 作者: 徐立 李倩 李闯 郑培亮 黄振宇
• 来源期刊: 自动化与信息工程
• 关键词: 叉指状电容 静电力 微纳力 测量装置
• 年，卷（期）: 2018,（5）
• 所属期刊栏目: 应用技术
• 页码范围: 24-28
• 页数: 5页
• 字数: 2641字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-2605.2018.05.007

摘要

基于叉指状电容结构,设计一种微纳力测量装置.利用叉指状电容结构之间产生的微纳量级静电力,实现对微纳力的准确测量.装置结构简单、操作方便,同时可测量不同方向的微纳力.通过理论计算、数值模拟及实验结果的分析表明:在100 V～600 V的加载电压区间内,装置能达到较高测量准确度;当加载电压超过600 V时,由于加载电压自身不确定度增大,导致测量结果误差增大.研究结果对微纳力测量装置的小型化、集成化具有较大实用价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑培亮		7	7	2.0	2.0
2	黄振宇		18	23	2.0	4.0
4	李倩		10	44	3.0	6.0
5	李闯		5	1	1.0	1.0
9	徐立		14	3	1.0	1.0