胶层热传递对挠性摆式微加速度计温度滞环的影响

• 作者: 孙屹博 李凯 王晓东 罗怡
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微加速度计 胶粘接 有限元仿真 温度滞环
• 年，卷（期）: 2018,（7）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 981-986
• 页数: 6页
• 分类号: TH74
• 字数: 3444字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2018.07.001

摘要

挠性微加速度计是惯导系统的核心组件,主要采用胶粘接装配,因此研究胶层热传递和蠕变效应共同作用对揭示温度滞环对加速度计性能稳定性影响具有重要意义.本文针对因手工涂胶导致的胶层厚度、溢出和倾斜等误差因素进行仿真,结果表明,第1周期的滞环值明显高于第二及以后周期的,应采用分步补偿.胶层溢出对滞环值的影响较大,溢出量为0.03 mm时,第1周期最大可达260μg.胶层厚度在设计许可范围内,随厚度增加呈减小趋势.胶层倾斜量达到胶层厚度一半时,第1周期最大滞环值达120μg.上述研究结果可为加速度计装配工艺优化提供数据支撑.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	罗怡	大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统工程重点实验室	53	695	13.0	25.0
5	王晓东	大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统工程重点实验室	115	1141	19.0	28.0
9	李凯	大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统工程重点实验室	10	102	6.0	10.0
10	孙屹博	大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统工程重点实验室	7	38	3.0	6.0