硅酸镓镧声表面波传感器的压力温度多参数解耦分析

• 作者: 何世堂 李红浪 柯亚兵 程利娜 赵一宇 郭霄鹏
• 来源期刊: 声学学报
• 年，卷（期）: 2018,（5）
• 页码范围: 810-816
• 页数: 7页
• 语种: 中文

摘要

针对硅酸镓镧声表面波压力传感器,提出了一种温度和压力的多参数解耦方法.理论上采用有限元方法与微扰理论结合,计算传感器在不同温度、压力下频率响应.根据计算结果,构造出传感器温度与压力的解耦公式.以一种基于LGS(0°,0°,100°)点压力式SAW传感器为例,理论计算得到其温度与压力解耦公式的具体参数,同时与在-55℃～125℃,0～1 MPa范围内的实验测试结果对比.理论分析和实验测试结果基本吻合,验证了温度压力多参量解耦方法的正确性.