环形、矩形及I2形MEMS原子力显微镜探针的力灵敏度

• 作者: 屈明山 张照云 杨荷 熊壮
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统(MEMS) 谐振器 力灵敏度 原子力显微镜(AFM)探针 品质因数 谐振频率
• 年，卷（期）: 2018,（5）
• 所属期刊栏目: 加工、测量与设备
• 页码范围: 351-358
• 页数: 8页
• 分类号: TH742.9
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2018.05.009

摘要

基于微电子机械系统(MEMS)技术的环形、矩形以及I2形谐振器由于具有较高的谐振频率与品质因数等优点,可作为原子力显微镜(AFM)探针用于物理表面高速成像实验.在结构尺寸近似的情况下,对影响上述三种MEMS探针性能的谐振频率、有效刚度以及品质因数等关键指标进行综合分析与比较.在此基础上,对上述MEMS探针的力灵敏度进行了评估.结果表明,环形MEMS探针适用于对柔性物体的高精度成像,而I2形MEMS探针则更适合于对大范围区域的高速实时成像.通过对机械结构与检测电路的进一步优化,MEMS探针的力灵敏度有望达到并超越现有悬臂式探针的水平.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张照云	中国工程物理研究院电子工程研究所	13	18	2.0	3.0
2	熊壮	中国工程物理研究院电子工程研究所	13	11	2.0	2.0
3	屈明山	中国工程物理研究院电子工程研究所	4	5	1.0	1.0
4	杨荷	中国工程物理研究院电子工程研究所	7	2	1.0	1.0