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年增17.2亿元产能,盛美半导体设备亚太制造中心开业!
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摘要：
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半导体制造设备的维修调度研究
半导体设备
维修调度
遗传算法
最大优先度
半导体行业超纯水制造技术
半导体
超纯水
节能减排
半导体制造重调度研究
半导体制造
重调度
重调度因素
重调度策略
重调度方法
半导体制造设备预维修调度的知识进化算法研究
半导体
制造设备
预维修调度
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期刊影响力
电子工业专用设备
主办单位：
中国电子科技集团公司第四十五研究所
出版周期：
双月刊
ISSN：
1004-4507
CN：
62-1077/TN
开本：
大16开
出版地：
北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室
邮发代号：
创刊时间：
1971
语种：
chi
出版文献量（篇）
3731
总下载数（次）
31
总被引数（次）
10002
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