典型高温薄膜传感器的研究进展

• 作者: 周排弟 周颖锋 孙道恒 崔在甫 易伟劲 林晓龙 王凌云
• 来源期刊: 电子机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: 高温薄膜传感器 应变计 热电偶 电阻温度检测器 热流量计
• 年，卷（期）: 2018,（1）
• 所属期刊栏目: 专家论坛
• 页码范围: 1-7
• 页数: 7页
• 分类号: TP212
• 字数: 5435字
• 语种: 中文
• DOI: 10.19659/j.issn.1008-5300.2018.01.001

摘要

随着航空发动机、燃气轮机、内燃机、石油化工设备等的设计、运行要求不断提高,对典型高温薄膜传感器如高温薄膜应变计、高温薄膜温度计、高温薄膜热流量计的需求越来越迫切.文中介绍了高温薄膜应变计、高温薄膜温度计、高温薄膜热流量计以及多功能集成高温薄膜传感器等典型高温薄膜传感器的研究现状,分析了它们在敏感材料、材料体系、制造工艺和信号传输方面存在的主要问题,可为应用于更严酷环境的高温薄膜传感器的技术研究提供参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王凌云	厦门大学机电工程系	32	191	7.0	12.0
2	孙道恒	厦门大学机电工程系	81	618	14.0	21.0
3	林晓龙	厦门大学机电工程系	2	3	1.0	1.0
4	易伟劲	厦门大学机电工程系	2	2	1.0	1.0
5	周颖锋	厦门大学机电工程系	2	2	1.0	1.0
6	崔在甫	厦门大学机电工程系	2	2	1.0	1.0
7	周排弟	厦门大学机电工程系	2	2	1.0	1.0