拉曼光谱在第三代半导体材料测试领域的应用

• 作者: 付丙磊 张争光 王志越
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 拉曼光谱 GaN 无损检测
• 年，卷（期）: 2018,（4）
• 页码范围: 42-45,65
• 页数: 5页
• 分类号: TN304.07
• 字数: 3119字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2018.04.010

摘要

对第三代半导体GaN材料体系的拉曼光谱测试进行了综述,并展望了其在第三代半导体无损检测领域的应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	付丙磊		2	6	1.0	2.0
2	张争光		1	0	0.0	0.0
3	王志越		1	0	0.0	0.0